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單晶爐用干式螺桿真空泵組

單晶爐用干式螺桿真空泵組

功  率:3+4.5 kW

抽氣速率:630/756 m3/h

壓  力:≤0.2/≤0.1 Pa

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性能優勢 Performance Advantages

 

· 無油氣污染工藝設備,可獲得清潔零件表面;

· 被抽氣體不會被污染,為期可進行回收利用;

· 無油氣、油煙等有害氣體排放,有利于環境保護;

· 避免因泵腔內潤滑油乳化、變質而出現的運行故障,提高了系統的穩定性;

· 可單獨使用,進氣壓力在1Pa至大氣壓下均能正常工作,抽氣效率高,可大幅度簡化真空系統;

· 機組可作為前級泵使用,與羅茨泵、分子泵等組合成多級無油真空機組,以獲得更大與更高的真空度;

· 轉子間無接觸、無磨損,零件損耗小,使用壽命長;

· 泵腔內采用間隙密封,對少量粉塵不敏感;

· 智能控制模式,實時監測設備運行狀態,并針對異常情況做出報警;

· 模塊化設計,整機體積小,方便移動;

· 可變頻運行,節能效果好;

· 采用一體化水冷電機設計,運行噪音低,震動小;

 

 

 

 

機組內容  Unit Content



 
 
技術參數  Technical parameter

應用行業 Application Industry

☆  化工                                                                                                                  ☆  光伏

☆  制藥                                                                                                                  ☆  汽車

☆  鋰電池                                                                                                              ☆  香料

☆  冶金                                                                                                                  ☆  航空航天

☆  鍍膜                                                                                                                  ☆  科研院所

☆  新能源                                                                                                              ☆  半導體

行業應用
 


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